公开/公告号US10335763B2
专利类型
公开/公告日2019-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 ENTEGRIS INC.;
申请/专利号US201515506158
申请日2015-08-22
分类号B01J20/20;B01J20/28;B01J20/30;C01B32/318;B01D53/02;F17C11;C01B32/05;C01B32/324;C01B32/366;H01G11/24;H01G11/34;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:15:04