公开/公告号US10297969B2
专利类型
公开/公告日2019-05-21
原文格式PDF
申请/专利权人 NEWPORT CORPORATION;
申请/专利号US201615736280
申请日2016-06-20
分类号H01S3/30;G02F1/39;H01S3/0941;H01S3/081;H01S3/11;H01S3/16;H01S5/40;H01S3/08;H01S3/105;H01S5;H01S3/042;H01S3/04;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:14:35