公开/公告号US10283342B2
专利类型
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201615360397
发明设计人 ILYA BEZEL;ANATOLY SHCHEMELININ;KENNETH P. GROSS;MATTHEW PANZER;ANANT CHIMMALGI;LAUREN WILSON;JOSHUA WITTENBERG;
申请日2016-11-23
分类号H01J61/02;H01J61/04;H01J61/52;H01J65/04;H01J61/30;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:11:40