公开/公告号EP3357081B1
专利类型
公开/公告日2020-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号EP20160873646
发明设计人 BEZEL ILYA;SHCHEMELININ ANATOLY;GROSS KENNETH P.;PANZER MATTHEW;CHIMMALGI ANANT;WILSON LAUREN;WITTENBERG JOSHUA;
申请日2016-12-05
分类号H01J61/30;H05G2;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:41:42