公开/公告号US10190868B2
专利类型
公开/公告日2019-01-29
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号US201514826079
发明设计人 LIEQUAN LEE;RAPHAEL JEAN MICHEL MARIE GETIN;MENG CAO;LEONID POSLAVSKY;TORSTEN RUDOLF KAACK;HONG QIU;
申请日2015-08-13
分类号G01B11/02;G06N5/02;G03F7/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:10:26