公开/公告号US10256095B2
专利类型
公开/公告日2019-04-09
原文格式PDF
申请/专利权人 TEL EPION INC.;
申请/专利号US201615266639
发明设计人 NOEL RUSSELL;NICHOLAS JOY;SOO DOO CHAE;STEVEN P. CALIENDO;JOSHUA LAROSE;LUIS FERNANDEZ;ALLEN J. LEITH;YAN SHAO;VINCENT LAGANA-GIZZO;
申请日2016-09-15
分类号H01L21/02;H01L21/66;G05B19/406;H01L21/265;H01L21/263;H01J37/304;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:09:14