公开/公告号US10196738B2
专利类型
公开/公告日2019-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;
申请/专利号US201715407129
申请日2017-01-16
分类号C23C14/58;C23C16/455;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/78;H01L21/66;C23C16/24;C23C16/44;C23C16/52;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:09:12