公开/公告号US2019244788A1
专利类型
公开/公告日2019-08-08
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201916384442
发明设计人 ALEXEI MARAKHTANOV;FELIX KOZAKEVICH;MICHAEL C. KELLOGG;JOHN PATRICK HOLLAND;ZHIGANG CHEN;KENNETH LUCCHESI;LIN ZHAO;
申请日2019-04-15
分类号H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/67;H01L21/687;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:06:05