公开/公告号CN111489952A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-04
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN202010078575.0
申请日2017-07-25
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 11:28:35
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-28
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20170725
实质审查的生效
2020-08-04
公开
公开
机译: 通过同步主和边缘RF发生器实现与等离子体室内的边缘区域相关联的预定因子的系统和方法
机译: 通过同步主边射频发生器实现等离子体腔室内与边缘区域相关的预定因子的RF RF系统和方法
机译: 通过同步主射频发生器和边缘射频发生器来实现与等离子室内边缘区域相关的预定因子的系统和方法