公开/公告号US2019027403A1
专利类型
公开/公告日2019-01-24
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201816140342
发明设计人 SREE RANGASAI V. KESAPRAGADA;KEVIN MORAES;SRINIVAS GUGGILLA;HE REN;MEHUL NAIK;DAVID THOMPSON;WEIFENG YE;YANA CHENG;YONG CAO;XIANMIN TANG;PAUL F. MA;DEENESH PADHI;
申请日2018-09-24
分类号H01L21/768;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:05:45