公开/公告号WO2019078901A1
专利类型
公开/公告日2019-04-25
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;
申请/专利号WO2017US57767
发明设计人 GRUNZWEIG TZAHI;GUTMAN NADAV;GREADY DAVID;GHINOVKER MARK;LEVINSKI VLADIMIR;STANIUNAS CLAIRE E.;SHUALL NIMROD;PASKOVER YURI;
申请日2017-10-22
分类号G03F7/20;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:55:03