公开/公告号RU2702810C1
专利类型
公开/公告日2019-10-11
原文格式PDF
申请/专利号RU20190110376
发明设计人 OGNEV ALEKSEJ VYACHESLAVOVICH (RU);SAMARDAK ALEKSANDR SERGEEVICH (RU);KOLESNIKOV ALEKSANDR GENNADEVICH (RU);
申请日2019-04-09
分类号H01L21/18;B82Y30;
国家 RU
入库时间 2022-08-21 11:45:57