公开/公告号EP3549212A4
专利类型
公开/公告日2020-08-05
原文格式PDF
申请/专利权人 NEWPORT CORPORATION;
申请/专利号EP20170877206
申请日2017-12-02
分类号H01S3/11;G01N21/31;G02F1/39;H01S3;H01S3/04;H01S3/042;H01S3/06;H01S3/067;H01S3/094;H01S3/0941;H01S3/10;H01S3/16;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:41:16