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METHOD OF MANUFACTURING MOS2 HAVING 1T CRYSTAL STRUCTURE

机译:具有1T晶体结构的MOS2的制造方法

摘要

Provided is a method of manufacturing MoS2 having a 1T crystal structure. The method includes performing phase transition from a 2H crystal structure of MoS2 to the 1T crystal structure by reacting MoS2 having the 2H crystal structure with CO gas. The phase transition includes annealing the MoS2 having the 2H crystal structure in an atmosphere including CO gas.
机译:提供了一种具有1T晶体结构的MoS 2 的制造方法。该方法包括通过使具有2H晶体结构的MoS 2 与CO气体反应来执行从MoS 2 的2H晶体结构到1T晶体结构的相变。相变包括在具有CO气体的气氛中对具有2H晶体结构的MoS 2 进行退火。

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