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NEGATIVE TYPE PHOTOSENSITIVE SILOXANE COMPOSITION AND METHODS FOR PRODUCING CURED FILM AND ELECTRONIC DEVICE USING THE SAME

机译:负型光敏硅氧烷组合物及使用该组合物制备固化膜和电子器件的方法

摘要

[Object] To provide a negative type photosensitive siloxane composition capable of forming a cured film excellent in heat resistance and critical thickness for cracking [Means] The present invention provides a negative type photosensitive siloxane composition comprising : a polysiloxane containing silanol in a specific content, a particular photo base generator, and a solvent. The content of silanol is measured by FT-IR.
机译:[目的]提供一种负型感光性硅氧烷组合物,其能够形成耐热性及用于裂纹的临界厚度优异的固化膜。[方法]本发明提供一种负型感光性硅氧烷组合物,其包括:含有特定含量的硅烷醇的聚硅氧烷,特定的光碱产生剂和溶剂。硅烷醇的含量通过FT-IR测量。

著录项

  • 公开/公告号EP3717966A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MERCK PATENT GMBH;

    申请/专利号EP20180811765

  • 发明设计人 HAYASHI MASANOBU;

    申请日2018-11-26

  • 分类号G03F7/075;G03F7/004;G03F7/40;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 11:39:11

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