公开/公告号EP3597916A1
专利类型
公开/公告日2020-01-22
原文格式PDF
申请/专利权人 EBARA CORPORATION;
申请/专利号EP20180766870
发明设计人 MAISHIGI KEIJI;SUGIURA TETSURO;USUI KATSUAKI;HATAKEYAMA MASAHIRO;HONMA CHIKAKO;OSUGA TORU;IWASAKI KOICHI;LIN JIE YUAN;
申请日2018-03-13
分类号F04B51;G05B19/418;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:38:50