公开/公告号US10651095B2
专利类型
公开/公告日2020-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201715672886
发明设计人 DEEPAK JADHAV;
申请日2017-08-09
分类号H01L21/66;H04N5/33;H04N5/232;G01J5/02;H04N5/225;G01J5/04;H01L21/67;H04N5/247;G01J5;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:31:14