公开/公告号US10563303B2
专利类型
公开/公告日2020-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201815965813
申请日2018-04-27
分类号C23C14/08;C23C16/28;H01J37/32;C23C16/452;C23C16/40;C23C16/455;C23C4/11;C23C4/134;C23C4/18;C23C14/22;C23C14/58;C23C16/56;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:30:07