公开/公告号US10677720B2
专利类型
公开/公告日2020-06-09
原文格式PDF
申请/专利权人 SHARP KABUSHIKI KAISHA;
申请/专利号US201816199206
发明设计人 TAZUKO KITAZAWA;GO MORI;
申请日2018-11-25
分类号G01J3/02;G01N21/3504;G01J3/42;G01J5/20;H01L31/0352;G01J5;H01L31/02;G01J3/10;G01J3/28;G01J3;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:26:55