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DEEP FENCE ISOLATION FOR LOGIC CELLS

机译:逻辑细胞的深层隔离

摘要

Structures for field-effect transistors and methods for fabricating a structure for field-effect transistors. A logic cell includes first and second field-effect transistors and a well defining a back gate that is arranged beneath the first and second field-effect transistors. A dielectric layer is arranged between the well and the logic cell. A plurality of deep trench isolation regions extend through the dielectric layer and are arranged to surround the first and second field-effect transistors and the well. The back gate is shared by the first and second field-effect transistors.
机译:用于场效应晶体管的结构以及用于制造用于场效应晶体管的结构的方法。逻辑单元包括第一和第二场效应晶体管以及限定背栅的阱,该阱布置在第一和第二场效应晶体管下方。介电层布置在阱和逻辑单元之间。多个深沟槽隔离区域延伸穿过电介质层,并且被布置为围绕第一和第二场效应晶体管以及阱。背栅由第一和第二场效应晶体管共享。

著录项

  • 公开/公告号US2020083223A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-03-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;

    申请/专利号US201816129221

  • 申请日2018-09-12

  • 分类号H01L27/092;H03K19/0948;H01L29/06;H01L29/423;H01L21/8238;H01L21/762;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:24:47

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