公开/公告号US2020244963A1
专利类型
公开/公告日2020-07-30
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA CORPORATION;
申请/专利号US202016744301
发明设计人 NURMOHAMMED PATWARY;RICHARD WALLINGFORD;JAMES A. SMITH;XIAOCHUN LI;VLADIMIR TUMAKOV;BJORN BRAUER;
申请日2020-01-16
分类号H04N19/126;G01N21/95;H04N19/60;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:21:21