公开/公告号WO2020159805A1
专利类型
公开/公告日2020-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 KLA CORPORATION;
申请/专利号WO2020US14868
发明设计人 PATWARY NURMOHAMMED;WALLINGFORD RICHARD;SMITH JAMES A.;LI XIAOCHUN;TUMAKOV VLADIMIR;BRAUER BJORN;
申请日2020-01-24
分类号G06T7;G06T5;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:09:55