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MULTI-WAFER BASED LIGHT ABSORPTION APPARATUS AND APPLICATIONS THEREOF

机译:基于多晶片的光吸收装置及其应用

摘要

Structures and techniques introduced here enable the design and fabrication of photodetectors (PDs) and/or other electronic circuits using typical semiconductor device manufacturing technologies meanwhile reducing the adverse impacts on PDs' performance. Examples of the various structures and techniques introduced here include, but not limited to, a pre-PD homogeneous wafer bonding technique, a pre-PD heterogeneous wafer bonding technique, a post-PD wafer bonding technique, their combinations, and a number of mirror equipped PD structures. With the introduced structures and techniques, it is possible to implement PDs using typical direct growth material epitaxy technology while reducing the adverse impact of the defect layer at the material interface caused by lattice mismatch.
机译:此处介绍的结构和技术可以使用典型的半导体器件制造技术设计和制造光电探测器(PD)和/或其他电子电路,同时减少对PD性能的不利影响。此处介绍的各种结构和技术的示例包括但不限于PD前均质晶圆键合技术,PD前异质晶圆键合技术,PD后晶圆键合技术,它们的组合以及许多反射镜配备的PD结构。利用引入的结构和技术,可以使用典型的直接生长材料外延技术来实现局部放电,同时减少由于晶格失配而导致的缺陷层在材料界面处的不利影响。

著录项

  • 公开/公告号US2020075793A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-03-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ARTILUX INC.;

    申请/专利号US201916676310

  • 申请日2019-11-06

  • 分类号H01L31/18;H01L27/146;H01L31/0232;H01L31/02;H01L31/0216;H01L31/107;H01L31/054;H01L31/028;H01L31/105;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:19:09

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