公开/公告号WO2020020550A1
专利类型
公开/公告日2020-01-30
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;LIPPERT JOHANNES;GRUNER TORALF;HILD KERSTIN;LUCKE PHILIP;NEMATOLLAHI MOHAMMADREZA;
申请/专利号WO2019EP66634
申请日2019-06-24
分类号G21K1/06;G03F7/20;G02B5/08;G02B26/06;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:13:42