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METHODS OF ALIGNMENT MARKING SEMICONDUCTOR WAFERS, AND SEMICONDUCTOR PACKAGES HAVING PORTIONS OF ALIGNMENT MARKINGS

机译:对准标记的方法半导体晶片,以及具有对准标记的部分的半导体封装

摘要

Some embodiments include a semiconductor package. The semiconductor package has a semiconductor die with a primary region which includes integrated circuitry, and with an edge region which includes a portion of an alignment mark location. The portion of the alignment mark location includes a segment of an alignment mark. The alignment mark includes a pattern of lines and spaces, with the lines extending along a first direction. The portion of the alignment mark location also includes a texture having a pattern other than lines extending along either the first direction or along a second direction substantially orthogonal to the first direction. Some embodiments include methods for alignment marking semiconductor wafers.
机译:一些实施例包括半导体封装。该半导体封装具有半导体管芯,该半导体管芯具有包括集成电路的主区域和具有包括对准标记位置的一部分的边缘区域。对准标记位置的一部分包括对准标记的一部分。对准标记包括线和间隔的图案,其中线沿第一方向延伸。对准标记位置的一部分还包括纹理,该纹理具有除了沿着第一方向或者沿着基本上正交于第一方向的第二方向延伸的线以外的图案。一些实施例包括用于对准标记半导体晶片的方法。

著录项

  • 公开/公告号WO2020046652A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-03-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;

    申请/专利号WO2019US47338

  • 发明设计人 HOUSLEY RICHARD T.;ZHOU JIANMING;

    申请日2019-08-20

  • 分类号H01L23/544;H01L21/027;H01L21/56;H01L25/065;H01L21/67;H01L21/68;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 11:13:04

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