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CaF2 POLYCRYSTALLINE CaF2 MEMBER MEMBER FOR PLASMA TREATMENT DEVICE PLASMA TREATMENT DEVICE AND PROCESS FOR PRODUCING FOCUSING RING

机译：等离子体处理设备用CaF2结晶CaF2成员等离子体处理设备及其制造加工环的方法

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The polycrystalline CaF ₂ member is composed of a combination of a plurality of polycrystals made of CaF ₂ .

机译：多晶CaF _{2 成员由CaF _{2 制成的多个多晶的组合组成。}}

著录项

公开/公告号KR102059221B1

专利类型
公开/公告日2019-12-24

原文格式PDF
申请/专利权人 가부시키가이샤 니콘;
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申请/专利号KR20147036577
发明设计人 우에하라 나오야스;
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申请日2013-07-04
分类号H01L21/3065;C01F11/22;C04B35/553;C04B37;H01J37/32;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:08:16

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