公开/公告号KR20200059772A
专利类型
公开/公告日2020-05-29
原文格式PDF
申请/专利权人 KOREA INSTITUTE OF OCEAN SCIENCE & TECHNOLOGY;UNIVERSITY-INDUSTRY COOPERATION GROUP OF KYUNG HEE UNIVERSITY;
申请/专利号KR20180144895
发明设计人 JUNG JUNG YUEL;OH JAE WON;NAM YOUNG SUK;LEE CHOONG YEOP;SONG KYOUNG HWAN;OH SEUNG TAE;SHIM JAE HWAN;
申请日2018-11-21
分类号G03F7/20;C09D127/18;H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:06:58