公开/公告号KR20200077590A
专利类型
公开/公告日2020-06-30
原文格式PDF
申请/专利权人 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.;
申请/专利号KR20207016063
发明设计人 벤셀라르 요하네스 짓세;치앳마스 아나그노스티스;레흐만 사메 우르;하이넨 폴 크리스티안;배쎈 장-피에르 아그네스 헨리쿠스 마리;바이스 니콜라스 마우리치오;상기네티 곤잘로 로베르토;자카로풀루 토마이;잘 마르틴 마리아;
申请日2018-11-14
分类号G03F7/20;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:06:32