确定与图案化过程有关的信息的方法、减小测量数据中的误差的方法、校准量测过程的方法、选择量测目标的方法

摘要

本公开涉及确定与图案化过程有关的信息。在一种方法中，从应用到衬底上的多个量测目标中的每个量测目标的量测过程获得测量数据。每个量测目标的所述测量数据包括至少第一贡献和第二贡献。所述第一贡献来自用于形成所述量测目标的图案化过程的感兴趣的参数。所述第二贡献来自所述量测过程中的误差。所述方法还包括：使用来自所有所述多个量测目标的已获得的测量数据来获得与所述量测过程中的误差有关的信息；和使用所获得的与所述量测过程中的所述误差有关的所述信息来针对每个量测目标提取所述感兴趣的参数的值。