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Bonding tools for bonding machines, bonding machines for bonding semiconductor elements, and related methods

机译:用于键合机的键合工具,用于键合半导体元件的键合机以及相关方法

摘要

A bonding tool is provided for bonding a first workpiece to a second workpiece on a bonding machine. The bonding tool includes a body portion for bonding a first workpiece to a second workpiece on a bonding machine. In addition, the bonding tool includes a curing system for curing the adhesive provided between the first and second workpieces.
机译:提供一种用于在接合机上将第一工件接合至第二工件的接合工具。接合工具包括用于在接合机上将第一工件接合到第二工件的主体部分。另外,结合工具包括用于固化设置在第一工件和第二工件之间的粘合剂的固化系统。

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