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Inspection Apparatus for Picker Absorbing Pad and Inspection Method of Picker Absorbing Pad

机译:捡拾器吸盘的检查装置及捡拾器吸盘的检查方法

摘要

The present invention relates to a picker adsorption pad inspection apparatus and inspection method, and in particular, it is possible to detect whether a picker adsorption pad is defective, such as uneven wear or tear, or whether a picker adsorption pad is normally mounted on a picker, or whether or not there is a defective installation. In addition, it is characterized in that it is possible to set the height of the picker together with the condition of the picker pad.
机译:拾取器吸附垫的检查装置及检查方法技术领域本发明涉及一种拾取器吸附垫的检查装置及检查方法,特别是可以检测出拾取器吸附垫是否有不均匀的磨损或破损等不良情况,或者拾取器吸附垫是否正常地安装在吸附器上。选择器,或是否有缺陷的安装。另外,其特征在于,可以将拾取器的高度与拾取器垫的状态一起设定。

著录项

  • 公开/公告号KR102153010B1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-09-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HANMISEMICONDUCTOR CO. LTD.;

    申请/专利号KR20190024161

  • 发明设计人 이경식;소홍성;

    申请日2019-02-28

  • 分类号H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 11:03:50

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