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Computer-generated hologram (CGH), as well as methods for characterizing the surface shape of an optical element

机译:计算机生成的全息图(CGH)以及表征光学元件表面形状的方法

摘要

The invention relates to a computer-generated hologram (CGH) and to a method for characterizing the surface shape of an optical element. According to one aspect, a CGH has a first region (121, 321, 421) having at least one useful structure (A) and a second region (122, 322, 422) spatially separated from this first region (121, 321, 421) this second area forms a control area for detecting a contamination forming on the CGH (120, 320, 420, 520).
机译:本发明涉及计算机生成的全息图(CGH)和用于表征光学元件的表面形状的方法。根据一个方面,CGH具有具有至少一个有用结构(A)的第一区域(121、321、421)和与该第一区域(121、321、421)在空间上分开的第二区域(122、322、422)。该第二区域形成用于检测在CGH(120、320、420、520)上形成的污染的控制区域。

著录项

  • 公开/公告号DE102018209175A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-12-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;

    申请/专利号DE201810209175

  • 发明设计人 JOCHEN HETZLER;ALEXANDER WOLF;

    申请日2018-06-08

  • 分类号G02B5/32;G02B5/18;G03H1/08;G01M11;G03F7/20;G01B11/24;G01B9/023;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:44

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