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Micromechanical component and method for forming a layer structure

机译:微机械部件和形成层结构的方法

摘要

The invention relates to a micromechanical component with a substrate, a first layer (10) made of at least one first material, which has at least one protruding partial area (10a) aligned parallel to the partial surface (12a) of the substrate (12), each of which has a the transition area (10b) of the first layer (10) surrounding the respective protruding partial area (10a) is connected to at least one recessed partial area (10c) of the first layer (10) aligned parallel to the partial surface (12a) of the substrate (12), a second Layer (28) made of a second material identical or different to the first material, and in each case an annular filling area (26a) surrounding the at least one transition area (10c) of the first layer (10) made of a filling material which is separated from the first layer (10) and of the second layer (28) is hermetically enclosed, with a thermal and / or intrinsic residual stress of the filling material of the m at least one annular filling area (26a) deviates from a thermal and / or intrinsic internal stress of the second material.
机译:具有衬底的微机械部件技术领域本发明涉及一种具有衬底的微机械部件,该微机械部件具有至少一种由第一材料制成的第一层(10),该第一层具有至少一个平行于衬底(12a)的部分表面(12a)对准的突出的部分区域(10a)。 )中的每个都具有围绕相应的突出部分区域(10a)的第一层(10)的过渡区域(10b),该过渡区域连接到平行排列的第一层(10)的至少一个凹陷部分区域(10c)由与第一材料相同或不同的第二材料制成的第二层(28)与衬底(12)的部分表面(12a)相对,并且在每种情况下均围绕至少一个过渡区域的环形填充区域(26a)由填充材料制成的第一层(10)的与第一层(10)分离的区域(10c)和第二层(28)的区域(10c)被密封地封闭,其中填充物具有热和/或固有残余应力m个至少一个环形填充区域(26a)的材料偏离f从第二种材料的热和/或固有内部应力。

著录项

  • 公开/公告号DE102019204207A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;

    申请/专利号DE201910204207

  • 发明设计人 JOACHIM RUDHARD;CHRISTIAN TOBIAS BANZHAF;

    申请日2019-03-27

  • 分类号B81B1;G02B1;G02B5/08;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:14

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