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Control apparatus and method for supplying purge gas

机译:用于提供净化气体的控制装置和方法

摘要

A dynamic sealing system 1 comprising a seal 12-1 with two opposed sides 12-1A, 12-1B; a system 11 for supplying a purge gas to the second side 12-1B of the seal; and a controller 23 for controlling the purge gas supply system 11. A method of controlling the purge gas involves calculating a pressure differential ΔP between the operating pressures P1 and P2 on the respective sides 12-1A and 12-1B of the seal 12-1; and supplying purge gas based on the value of ΔP. The pressure differential ΔP may be calculated by subtracting P1 from P2; and the purge gas may be supplied if ΔP is greater than, less than, or equal to, either of two predetermined values. Also disclosed is a vacuum system 2 comprising the dynamic sealing system 1. In some embodiments, the supply of purge gas increases when a vacuum pump 3 is deactivated, or when an operating speed of the vacuum pump 3 decreases.
机译:一种动态密封系统1,其包括具有两个相对侧12-1A,12-1B的密封件12-1;用于将吹扫气体供应到密封件的第二侧12-1B的系统11;以及控制吹扫气体供应系统11的控制器23。控制吹扫气体的方法包括计算密封件12-1的各个侧面12-1A和12-1B上的工作压力P1和P2之间的压差ΔP。 ;并且基于ΔP的值供应吹扫气体。压差ΔP可以通过从P2中减去P1来计算。并且如果ΔP大于,小于或等于两个预定值中的任何一个,则可以供应净化气体。还公开了一种包括动态密封系统1的真空系统2。在一些实施例中,当停用真空泵3或降低真空泵3的运行速度时,净化气体的供应增加。

著录项

  • 公开/公告号GB2582327A

    专利类型

  • 公开/公告日2020-09-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 EDWARDS S.R.O.;

    申请/专利号GB20190003737

  • 发明设计人 ANTHONY JOSEPH BROOKS;

    申请日2019-03-19

  • 分类号F04D29/12;F04D19/04;F16J15/30;

  • 国家 GB

  • 入库时间 2022-08-21 10:59:53

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