Replacement tax -control system and feedback procedures for taxation respectively. Rules of the performance ratio of illumination

摘要

Rückkopplungsverfahren zum Steuern bzw. Regeln eines Polarisationsleistungsverhältnisses eines Auflichts (11), gekennzeichnet durch:Vorsehen einer Maske (18) mit einer gemusterten Metallschicht, wobei die Metallschicht Gitterlinien aufweist und die Gitterlinien einen Abstand (Λ) aufweisen, und wobei der Abstand (Λ) kleiner als die Wellenlänge des Auflichts (11) ist;Beleuchten der gemusterten Metallschicht mit Auflicht (11);Erfassen des reflektierten Lichts (11") von der gemusterten Metallschicht, um einen Parameter zu erhalten, der die Energie des reflektierten Lichts (11") im TM-Modus (transverse-magnetic) umfasst;Verarbeiten des Parameters, eines Reflexionsindex der Maske (18) in Bezug auf das Auflicht (11), der Energie des reflektierten Lichts (11") im TM-Modus und der gesamten Energie des Lichts, um ein berechnetes TE/TM Polarisationsleistungsverhältnis des Auflichts (11) zu erhalten; undAnpassen des Polarisationsleistungsverhältnisses des Auflichts (11) mit einem Polarisationskonverter (16) basierend auf dem berechneten TE/TM Polarisationsleistungsverhältnis des Auflichts (11).