Procedure for operating a Capacitive MEMS Sensor and Capacitive MEMS Sensor

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben eines kapazitiven MEMS-Sensors, umfassend die Schritte- Bereitstellen eines definierten elektrischen Potentials auf einer auslenkbar angeordneten seismischen Masse des MEMS-Sensors,- Kapazitives Anregen einer Schwingungsbewegung der seismischen Masse mit Hilfe einer getakteten elektrischen Steuerspannung,- Kompensieren von durch die getaktete elektrische Steuerspannung bedingten Schwankungen des bereitgestellten elektrischen Potentials auf der seismischen Masse durch gezieltes Laden und/oder Entladen eines an die seismische Masse angeschlossenen elektrischen Speicherelements entsprechend dem Takt der getakteten elektrischen Steuerspannung.