Sealing structure for a vacuum process space, vacuum process space with such a sealing structure and procedures for sealing a vacuum process space using the sealing structure

摘要

Dichtstruktur (1) zum Abdichten eines Vakuumprozessraums (3) gegenüber seiner Umgebung (5) an einer Durchführung (7), die sich in einer axialen Richtung (a) von der Umgebung aus in den Vakuumprozessraum hinein erstreckt, wobei die Dichtstruktur aufweist:einen ersten, axial äußeren Dichtkörper (11), der benachbart zu der Umgebung angeordnet ist,einen zweiten, axial inneren Dichtkörper (21), der benachbart zu dem Vakuumprozessraum angeordnet ist, undmindestens einen dritten, axial mittleren Dichtkörper (31), der zwischen dem ersten und dem zweiten Dichtkörper angeordnet ist,wobei der jeweilige Dichtkörper die Durchführung unter Ausbildung eines jeweiligen Dichtspalts (DS) zwischen Dichtkörper und Durchführung in deren Umfangsrichtung umgibt,wobei zwischen dem ersten und dem dritten Dichtkörper ein Schmiermittelraum (40) gebildet ist, in dem Schmiermittel aufgenommen ist, so dass der jeweilige Dichtspalt von dem ersten und dem dritten Dichtkörper mit Schmiermittel versorgbar ist,wobei zwischen dem dritten und dem zweiten Dichtkörper ein Absaugraum (50) gebildet ist, der mit einer Fluidabführstruktur (51) in Fluidverbindung steht, die ausgebildet ist, um in dem Absaugraum befindliches Fluid, aufweisend gasförmiges Schmiermittel, aus dem Absaugraum abzuführen, so dass ein Eindringen des gasförmigen Schmiermittels in den Vakuumprozessraum vermieden wird, undwobei entweder der erste, der zweite und der dritte Dichtkörper (11, 21, 31) mit gleicher Dichtrichtung angeordnet sind, wobei die jeweilige Dichtrichtung von dem Vakuumprozessraum aus zu der Umgebung hin zeigt, oderder zweite und der dritte Dichtkörper (21, 31) mit einer ersten Dichtrichtung angeordnet sind, die von dem Vakuumprozessraum aus zu der Umgebung hin zeigt, wobei der erste Dichtkörper (11) mit einer zweiten, zu der ersten Dichtrichtung unterschiedlichen Dichtrichtung angeordnet ist, die von der Umgebung aus zu dem Vakuumprozessraum hin zeigt.