法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-07-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F 11/00 授权公告日:20120711 终止日期:20140526 申请日:20100526
专利权的终止
2012-07-11
授权
授权
2011-01-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 11/00 申请日:20100526
实质审查的生效
2010-10-06
公开
公开
机译: 化学溶液异常检测装置,液体处理装置,基板处理装置,化学溶液异常检测方法,液体处理方法和基板处理方法
机译: 化学药品的异常检测装置,液体处理装置,基质处理装置,化学药品的异常检测方法,液体处理方法以及基质处理方法
机译: 具有工具异常检测功能的处理装置,具有工具异常检测功能的处理装置的工具异常检测方法以及具有工具异常检测功能的处理装置的工具异常检测程序