公开/公告号CN102004694B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-24
原文格式PDF
申请/专利权人 北京握奇数据系统有限公司;
申请/专利号CN201010569157.8
发明设计人 曾林;
申请日2010-11-26
分类号G06F11/36(20060101);
代理机构11319 北京润泽恒知识产权代理有限公司;
代理人苏培华
地址 100015 北京市朝阳区东直门外西八间房万红西街2号燕东商务花园
入库时间 2022-08-23 09:13:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-01-26
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G06F 11/36 变更前: 变更后: 申请日:20101126
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-04-24
授权
授权
2013-04-24
授权
授权
2011-05-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 11/36 申请日:20101126
实质审查的生效
2011-05-25
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F 11/36 申请日:20101126
实质审查的生效
2011-04-06
公开
公开
2011-04-06
公开
公开
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机译: 化学溶液异常检测装置,液体处理装置,基板处理装置,化学溶液异常检测方法,液体处理方法和基板处理方法
机译: 化学药品的异常检测装置,液体处理装置,基质处理装置,化学药品的异常检测方法,液体处理方法以及基质处理方法
机译: 具有工具异常检测功能的处理装置,具有工具异常检测功能的处理装置的工具异常检测方法以及具有工具异常检测功能的处理装置的工具异常检测程序