公开/公告号CN101546705B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-07-18
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN200910009403.1
申请日2009-02-23
分类号H01L21/3065(20060101);G01N21/66(20060101);H05H1/46(20060101);
代理机构11322 北京尚诚知识产权代理有限公司;
代理人龙淳
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:10:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/3065 授权公告日:20120718 终止日期:20180223 申请日:20090223
专利权的终止
2012-07-18
授权
授权
2012-07-18
授权
授权
2009-11-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-11-25
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-09-30
公开
公开
2009-09-30
公开
公开
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