镱掺杂钇铝石榴石陶瓷平面及条形波导激光器件的制备方法

摘要

镱掺杂钇铝石榴石陶瓷(Yb:YAG陶瓷)平面及条形波导激光器件的制备方法，属于光电子器件制备技术领域。主要包括在镱掺杂钇铝石榴石陶瓷中形成平面和条形波导并实现波导激光输出。采用能量为7.0或10.0兆电子伏，剂量为1×10¹⁴～6×10¹⁴离子每平方厘米范围的氮离子注入，在镱掺杂钇铝石榴石陶瓷表面形成平面波导。或者先用光刻技术，在样品表面制作注入掩膜，然后用能量为7.0或10.0兆电子伏，剂量为1×10¹⁴～6×10¹⁴离子每平方厘米范围的氮离子注入，形成条形波导。将垂直于波导的两个面抛光，对抛光面进行激光谐振腔镀膜后，使用泵浦光对镱掺杂钇铝石榴石陶瓷波导进行泵浦，输出波长在1030±1纳米的红外激光。