厚膜微压力传感器及制备方法

摘要

本发明涉及厚膜微压力传感器技术，采用Al₂O₃瓷加工成弹性膜片及瓷环，用玻璃浆料将其粘结烧结成周边固支的感压弹性体，在弹性体上按预定位置印刷烧结导电带，并在弹性体上通过厚膜丝网印刷，高温烧结制成厚膜应变电阻，接成全桥。本发明方法制成的厚膜微压力传感器稳定、耐腐蚀、性能优良、工作温度范围、成本低、耐老化、有广阔的应用前景。