法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-07-18
授权
授权
2012-02-15
著录事项变更 IPC(主分类):H01J 7/24 变更前: 变更后: 申请日:20080625
著录事项变更
2010-09-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 7/24 申请日:20080625
实质审查的生效
2010-03-31
公开
公开
机译: 用于将波导馈线耦合至加速器装置的射频腔谐振器的单元的耦合装置,例如用于加速。电子,具有天线单元,该天线单元包括扼流滤波器,扼流滤波器带有用于接收液氮的腔室
机译: 用于等离子体处理设备中的气体输送到射频驱动电极的射频扼流圈
机译: 等离子体处理设备中将气体输送到射频驱动电极的射频扼流圈