使用可程序化的脉冲形状的激光微加工

摘要

一种激光脉冲成形技术产生了经剪裁激光脉冲频谱输出(64、66)。该等激光脉冲可以被程序化，以具有所希的脉冲宽度与脉冲形状(例如：次奈秒至10奈秒-20奈秒的脉冲宽度，而具有1奈秒至数奈秒的前缘上升时间)。较佳实施例是以一或更多个电光调变器(250、254)来执行，用以接收驱动讯号，而选择地改变入射脉冲激光放射的数量(106、112、114)，以形成经剪裁脉冲输出。触发来自该脉冲激光放射的该驱动讯号，以抑制与连接处理系统的其它级有关的扰动，且实质上去除与脉冲激光放射建立时间有关的扰动。