复频夹心结构超声换能器

摘要

本发明公开了一种用于热超声引线键合和热超声倒装封装设备的复频超声换能器。聚能器由一级聚能器锥形段、圆柱段和二级锥形聚能器组成。一级聚能器锥形段的尾部为前盖板，数片铜片电极与数片压电陶瓷晶片隔片安装，各铜片电极和压电陶瓷晶片夹在前后盖板之间，由预紧螺钉压紧固定。聚能器的三段二级、夹持法兰以及前盖板采用同种材质作为一个整体进行机加工而成。换能器工作在60kHz和100kHz频率点附近并且在谐振点附近不存在模态密集情况，采用100kHz高频换能器可以实现60℃以下低温封装。本发明采用一体化两级聚能器结构，实现高倍数放大，采用钛合金材料减小了机构的重量和惯性，改善了换能器的散热性能，提高了其使用寿命。