包括卡盘和可释放地位于其上的工件托盘的夹持器具

摘要

一种包括卡盘(1)和可释放地位于其上的工件托盘(22)的夹持器具。卡盘(1)设有用于将工件托盘(22)定位的夹持机构。这种夹持机构包括构造成柱塞(10)的多个夹持构件。工件托盘(22)包括夹持表面(28a)，夹持表面(28a)基本上沿着工件托盘(22)的壳体表面(26)延伸，用于在夹持期间通过其设有压缩表面(13)的前部(12)与这些柱塞(10)表面接触，且夹持构件在大的表面区域上与工件托盘的夹持表面进行完全的表面接触，其中，卡盘(1)在开孔(4)的底部设有支撑表面(7)，且工件托盘(22)包括在其底侧的平坦接触表面(25)，在将工件托盘(22)在Z方向上夹持到卡盘(1)时，平坦接触表面(25)与卡盘(1)的支撑表面(7)接触。