公开/公告号CN1636640B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-06
原文格式PDF
申请/专利权人 阿尔卑斯电气株式会社;奥璐佳瑙股份有限公司;
申请/专利号CN200410101725.6
申请日1997-03-27
分类号B08B3/08(20060101);
代理机构11216 北京三幸商标专利事务所;
代理人刘激扬
地址 日本国东京都
入库时间 2022-08-23 09:10:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-26
专利权有效期届满 IPC(主分类):B08B 3/08 授权公告日:20120606 申请日:19970327
专利权的终止
2013-04-17
专利权的转移 IPC(主分类):B08B 3/08 变更前: 变更后: 登记生效日:20130327 申请日:19970327
专利申请权、专利权的转移
2012-06-06
授权
授权
2005-09-07
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-07-13
公开
公开
机译: 用于生产光敏剂的设备的清洁溶液,用于制备正电阻溶液和旋转涂布线管的设备的清洁溶液以及使用该清洁溶液的清洁方法
机译: 清洁设备,清洁方法,清洁溶液制造设备和清洁溶液制造方法
机译: 清洁溶液的组成以及使用该清洁溶液的半导体设备的清洁方法