公开/公告号CN101291778B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-06-20
原文格式PDF
申请/专利权人 日立化成工业株式会社;
申请/专利号CN200680038577.5
申请日2006-10-18
分类号B24B37/00(20120101);C09K3/14(20060101);H01L21/304(20060101);
代理机构11243 北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人葛松生
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:10:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-06-20
授权
授权
2008-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-22
公开
公开
机译: 氧化铈浆液,氧化铈抛光浆液以及使用该浆料的抛光基板的方法
机译: 用于抛光的氧化铈浆料,该浆料的生产方法以及用该浆料抛光的方法
机译: 用于抛光的氧化铈浆料,制备浆料的方法以及用该浆料抛光的方法