对图案化介质盘进行度量的系统、方法和设备

摘要

本发明涉及对图案化介质盘进行度量的系统、方法和设备。具有矩形或六边形周期的小的集成测试图案被结合在图案化介质结构的同心圆环之间。测试图案仅覆盖盘的非常小的区域，从而不显著影响盘容量。与具有曲线周期的测试图案相比，所述测试图案的周期允许其结构更容易地以度量技术测量。