用于300mm硅片氧化处理的立式氧化炉炉体热电偶固定装置

摘要

本发明公开了一种300mm立式氧化炉炉体热电偶固定装置，其特征在于：设有固定板(5)，该固定板的外侧中心部位设有一个凹槽，在该凹槽内固定设置一个固定块(3)，热电偶(2)固定在该固定块的中心孔中，固定块的一侧设有一个直边，固定块的一侧固定设有一个挡板(1)，该挡板的内侧边与固定块的直边紧靠在一起将固定块和热电偶卡住，所述固定板通过螺栓(4)固定在立式氧化炉炉体的内壁上；热电偶固定装置设有数个，纵向间隔设置在立式氧化炉炉体上；所述固定板、固定块、挡板用耐热材料制成。本发明适用于300mm立式氧化炉炉体热电偶的固定，结构科学、新颖，固定效果好，易于更换热电偶。